د فوتوریزیسټ عمومي کتنه

فوټوریزیسټ، چې د فوټوریزیسټ په نوم هم پیژندل کیږي، هغه پتلی فلم موادو ته اشاره کوي چې محلولیت یې د UV رڼا، الکترون بیمونو، ایون بیمونو، ایکس رې، یا نورو وړانګو سره د مخ کیدو په وخت کې بدلیږي.

دا د رال، فوتو انیشیټیټر، محلول، مونومر، او نورو اضافه کونکو څخه جوړ شوی دی (جدول 1 وګورئ). د فوتو ریزیسټ رال او فوتو انیشیټیټر ترټولو مهم اجزا دي چې د فوتو ریزیسټ فعالیت اغیزه کوي. دا د فوتو لیتوګرافي پروسې په جریان کې د زنګ ضد کوټینګ په توګه کارول کیږي.

کله چې د سیمیکمډکټر سطحې پروسس کوئ، د مناسب انتخابي فوتوریزیسټ کارول کولی شي په سطحه مطلوب انځور رامینځته کړي.

جدول ۱.

د فوتوریزیسټونه د هغه انځور پر بنسټ چې دوی یې جوړوي په دوو اصلي کټګوریو ویشل شوي دي: مثبت او منفي. د فوتوریزیسټ پروسې په جریان کې، د افشا کیدو او پراختیا وروسته، د پوښ ښکاره شوي برخې منحل کیږي، او نا افشا شوي برخې پریږدي. دا پوښ مثبت فوتوریزیسټ ګڼل کیږي. که چیرې افشا شوي برخې د نا افشا شوي برخې منحل کیدو پرمهال پاتې شي، نو پوښ منفي فوتوریزیسټ ګڼل کیږي. د افشا کیدو د رڼا سرچینې او وړانګو سرچینې پورې اړه لري، فوتوریزیسټونه نور د UV (مثبت او منفي UV فوتوریزیسټونو په ګډون)، ژور UV (DUV) فوتوریزیسټونه، د ایکس رې فوتوریزیسټونه، د الکترون بیم فوتوریزیسټونه، او د ایون بیم فوتوریزیسټونه په توګه طبقه بندي شوي دي.

فوټوریزیسټ په عمده توګه د ښودنې تختو، مدغم سرکټونو، او جلا سیمیکمډکټر وسیلو کې د ښه دانه نمونو پروسس کولو لپاره کارول کیږي. د فوټوریزیسټ تر شا د تولید ټیکنالوژي پیچلې ده، د محصول ډولونو او مشخصاتو پراخه ډولونه لري. د بریښنایی صنعت د مدغم سرکټ تولید په کارول شوي فوټوریزیسټ باندې سخت اړتیاوې وضع کوي.

ایور ری، یو تولیدونکی چې د فوتوکرایبل رالونو په تولید او پراختیا کې د 20 کلونو تجربه لري، د 20,000 ټنو کلني تولید ظرفیت، د محصولاتو جامع کرښه، او د محصولاتو دودیز کولو وړتیا لري. په فوټوریزیسټ کې، ایور ری د اصلي برخې په توګه 17501 رال لري.